氦气回收净化处理系统主要由氦气抽排入口处理系统、氦气回收动力系统，压力调节及流量补充系统以及氦气提纯设备组成。
二、设计思路：
根据贵公司提供的数据和现场要求，本系统采用一套3.5Nm³/min氦气回收压缩机系统为一级回收系统。缓冲气囊做为缓冲平衡压力和简单的储存，在进入氦气压缩机前进行氦气脱水干燥，使氦气的露点达到10ppm以上，这样压缩机从常压经过四级压缩，使压力达到20MPa的压力，由于是采用了微油增压机增压，会有少量的油物的二次污染，所以必须增加加高压除油器除油和高压过滤器除尘，然后在进入低温液化系统，对于氮气和氧气等杂质气体进行液化处理，使之达到99。999%的纯度的氦气。系统自动化控制，方便系统维护，保证氦气回收系统稳定运行，这样即保证了系统的经济性和可靠性， 也保证了整个生产的安全性。
第三章 设备特点
一、氮气回收动力系统
1.1、氦气回收压缩机：氦气回收压缩机选用英国微油压缩机，具有运行稳定，价格适中，回收率高。系统设备无需润滑处理，气源没有二次污染。设备故障率低。噪音低于80分贝。
1.2、压力调节系统：由于增压机工作时，对于进口压力需要很稳定，回收的气量也很大，就用大型气囊作为缓冲器，保证了回收压力的稳定性和压缩机的进口压力的工作状态，出口压力压力也就相对很稳定。
二、尘埃过滤冷却系统：由于介质在回收时会有二次的尘埃污染，回收后在高压出口端必须经过尘埃和油物处理后才可进入低温处理系统。
三、氦气纯化系统：主要是氦气在回收时产生的氧气泄露进行处理和干燥，达到高纯氦的目的，保证回收后氦气品质。考虑到现场状况，采用低温高压液化的方法，这样可以确保氦气能很好的脱出杂质气体。经过低温液化和氦气后保证氦气纯度达到99.999%的高纯氦气标准，提纯后达到露点-70℃以上的露点。
四、电器系统：根据使用工艺要求的变化，调节修改压力变化，工控上位机实时监控回收时的瞬间和全部设备工作状态。